JJF 1946-2022 《鹵素檢漏儀校準規(guī)范》,規(guī)范條文解釋：本規(guī)范適用于可檢漏率為（1.0×10-6 ~1.0×10-4）Pa.m3/s的鹵素檢漏儀的校準，其他制冷劑的檢漏儀也可以參考本規(guī)范執(zhí)行。解釋：與目前鹵素檢漏儀校準用標準器（鹵素標準漏孔）的可溯源范圍相適應，待發(fā)布的正壓漏孔校準規(guī)范使用范圍（10-6~10-4）Pa.m3/s，與檢漏儀的實際測量范圍（1-10）g/a對應。測量標準：測量標準為提供某種特定鹵素氣體的已知漏率的鹵素標準漏孔，如表所示，鹵素標準漏孔應具有定位槽以便于檢漏儀定位。解釋：通常配備多個標準漏孔，一個標準漏孔對應一種示漏氣體，根據(jù)被校檢漏儀選擇相應的標準漏孔。標準漏孔老化會導致漏率發(fā)生明顯變化 。廣州全系列標準漏孔的漏率

正壓漏孔指在一定氣源壓力下出氣口壓力為大氣壓力的條件下校準和使用的漏孔，代表性的漏孔有鹵素檢漏用鹵素標準漏孔（鹵素氣體漏率標準器），還有氫氣校準漏孔。該類漏孔目前應用場合和校準需求要高于一類真空漏孔。主要因為正壓檢漏往往更符合工件和產(chǎn)品的實際工作狀態(tài)，越來越被重視。被檢容器內(nèi)壓力在1.013×105Pa,容器內(nèi)氣體分子多,壓力受溫度影響大。壓力的變化不正壓檢漏技術(shù)與真空檢漏技術(shù)相比，具有被檢件不用抽真空、工作狀態(tài)和檢漏狀態(tài)可保持一致等特點，同時也帶來了新的問題。河北冷媒漏孔定制標準漏孔能為各類檢漏結(jié)果提供可靠依據(jù)。

標準漏孔的運輸過程需要避免劇烈震動和碰撞，防止內(nèi)部結(jié)構(gòu)變形。部分精密漏孔會采用防震包裝，并標注 “輕放” 標識，以減少運輸對其性能的潛在影響。氣體壓力差是標準漏孔工作的必要條件，通常需在漏孔兩側(cè)建立穩(wěn)定的壓力環(huán)境。壓力波動過大會導致泄漏率不穩(wěn)定，因此實際應用中需配備壓力調(diào)節(jié)與穩(wěn)定裝置。長期未使用的標準漏孔在啟用前，應進行預熱和通氣處理，排除內(nèi)部殘留的雜質(zhì)氣體，使漏孔內(nèi)部狀態(tài)達到穩(wěn)定，確保測量的準確性。

滲氦型標準漏孔是利用氦氣對石英大多數(shù)玻璃或四氟乙烯有高的滲透性這一特性制作。此類型漏孔對污染不敏感；長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定；漏率可以做得很小。滲氦型標準漏孔的充裝氣體為氦氣，其漏率范圍一般在10負5-10負13Pa·m3/s之間。此外，滲氦型標準漏孔的示值允許偏差為±15%，溫度補償約為3%/°C，并且具有優(yōu)異的抗堵塞能力和長時間內(nèi)漏率穩(wěn)定的特性，出口閥門為手動(選配)，接口為KF25/M14*1.5(內(nèi))或定制，出口為真空，可重復充氣。年衰減率根據(jù)漏率的不同而有所差異，例如，對于10-7Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于10%/y;對于10-8Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于3%/y;以此類推，直到10-12Pa·m3/s的漏率，年衰減率小于或等于0.1%/y。標準漏孔可準確模擬實際工況中的泄漏狀態(tài) 。

標準漏孔的常見問題，外部標準漏孔校準，檢漏儀的外部校準是非常重要的。考慮到各個廠家對自己利益的保護，目前對標準漏孔存在比較大的兩個誤區(qū)：誤區(qū)1：多個檢漏儀廠家特別是國外廠家說只能用自己的漏孔，包括外置與內(nèi)置，這是一個典型性的謬誤說法。因為氦質(zhì)譜檢漏儀準不準，應符合標準漏孔。而標準漏孔準不準，是**標準規(guī)定的檢測機構(gòu)而不是廠家。誤區(qū)2就是檢漏儀內(nèi)置漏孔檢測通過，檢漏儀就沒有問題。這也是一個認識的誤區(qū)，實際上每一臺檢漏儀要做到寬量程都精確是非常困難的。檢測漏孔時可借助適用儀器，能更精確地找到滲漏位置。無錫氣密性漏孔的漏率

標準漏孔在半導體制造檢漏中經(jīng)常使用。廣州全系列標準漏孔的漏率

氦氣真空漏孔的溯源國內(nèi)開展的比較早也相對成熟一些，各級標準已經(jīng)建立，檢定規(guī)程或校準規(guī)范也早已頒布。但對其他氣體的校準還需要完善，并需要對不帶氦氣室漏孔校準方法和規(guī)范內(nèi)容需要增加氣源方式和要求。該部分標準漏孔量值溯源標準包括相對比較法漏率校準裝置。應為裝置成本和操作性的要求，在計量院和從事真空檢漏量值溯源研究的院所可以采用，對于以開展量值溯源為主要任務，技術(shù)能級有所欠缺的省市和企業(yè)級別的校準實驗室建議以相對比較法漏率校準裝置為主。特別建議采用檢漏儀比對裝置，該裝置操作簡單，成本低等特點，對實驗室應該避免采用殘余氣體四極質(zhì)譜分析儀（RGA），因為該儀器悟操作容易造成儀器的損壞，影響工作效率和增加維修成本。廣州全系列標準漏孔的漏率

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